2020年6月1日 星期一

Sheet Resistance


當我們要將設計好的電路進行製造之前,我們要進行 layout,也就是畫出電路的佈局圖。在進行 pre-simulation 時,電路模型是很理想的情況,不會考慮導線上的寄生電阻和電容,當我們進行佈局時,導線的長、寬、間距就會影響到這條導線的電阻和電容值。

一般導線的電阻值是由小方塊的導線電阻去計算出來的,這個小方塊的導線電阻稱為 sheet resistance。在製程文件裡面,通常會看到 sheet resistance 與 W/S 有關,其中 W 即是小方塊導線的寬度,而 S 則是導線與其他導線的間距。

導線之間的間距影響的應該是電容值吧?為什麼會影響電阻值呢?

原因與半導體製造的過程有關,一條導線是單獨存在,還是旁邊有其它導線存在,會影響製造時蝕刻的速率,造成金屬線的特性產生差異。

Reference